WF6 முக்கியமாக மின்னணுவியல் துறையில் உலோக டங்ஸ்டனின் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறைக்கான மூலப்பொருளாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. WF6 இலிருந்து தயாரிக்கப்பட்ட WSi2 ஆனது பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளில் (LSI) வயரிங் பொருளாகப் பயன்படுத்தப்படலாம், மேலும் குறைக்கடத்தி மின்முனைகளுக்கான மூலப்பொருளாகவும், இரசாயன முகவர்களுக்கான ஃப்ளோரின் மூலப்பொருட்கள், பாலிமரைசேஷன் வினையூக்கிகள், ஆப்டிகல் பொருட்கள் போன்றவற்றின் மூலப்பொருளாகவும் பயன்படுத்தப்படலாம்.